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J-GLOBAL ID：201602010450216456   整理番号：71A0025813

干渉法による透明薄膜の厚さ測定

Interferometric thickness measurements on transparent thin films.
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著者 (1件)：
HILL J S

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資料名：
J Phys D  (British Journal of Applied Physics (Journal of Physics. D))

J Phys D について


巻： 4  号： 6  ページ： 741-747, 876(1)  発行年： 1971年 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
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コーティングしていない透明薄膜の干渉計による膜厚測定においては,膜の上,下面間の繰返し反射が生ずる。その影響のいくつかを述べ,その大きさの計算方法を示す。吸収のある膜でほ端でしまが変化するが,その変位の膜厚との関係は説明できなかった;写図13参10
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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