抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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試料室と分光室をつなぐ電子ビーム通路を,1)両真空室を開放状態で接続,2)6μのMylar膜により分離,3)完全に閉じる,の3通りの状態にすることのできるバルブをつけることを考え,Cambridge型の装置のために製作したバルブを示す;写1図1参2