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J-GLOBAL ID：201602010792696611   整理番号：71A0243658

Si-SiO₂,系上の伝送線路における遅波伝搬

著者 (3件)： 長谷川英機 ,  野村秀徳 ,  柳井久義
資料名： 東京大学工学部総合試験所年報  (Annual Report of the Engineering Research Institute, Faculty of Engineering, University of Tokyo)
巻： 29  ページ： 87-92  発行年： 1970年 
JST資料番号： F0464A  ISSN： 0371-3067  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 予稿  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体集積回路などで問題になるSi-Sio₂系上の伝送線路について,信号伝搬モードを遅波モード,Si中のTEMモード,Siに対する表皮効果モードの三つの基本モードに分類し,線路特性と物理的な意味の関連づけを行なった。遅波モードでは非常に遅い位相速度を得た。その遅波線路への応用例として,遅波モードをもつ周期構造線路のメアンダー線路をとりあげ,利用可能性を実験的に確認した;写図7表1参2

シソーラス用語： 集積回路 ,  集積回路
準シソーラス用語： IC ,  集積回路(信号伝搬モード) ,  信号伝搬モード ,  信号伝搬モード(集積回路) ,  遅波線路 ,  遅波線路(IC/信号伝搬モード)

タイトルに関連する用語 (4件)： 系 ,  伝送線路 ,  遅波 ,  伝搬