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J-GLOBAL ID:201602010802815541 整理番号:65A0163047
四探針法による半導体比抵抗の測定
ПРИМЕНЕНИЕ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВОГО МЕТОДА ПРИ ИЗМЕРЕНИИ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ НЕОДНОРОДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
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著者 (2件):
МЕЙЕР А А
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ЛЕВИНЗОН Д И
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資料名:
Izmer Tekh (Izmeritel'naya Tekhnika)
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号:
5
ページ:
29-31
発行年:
1965年
JST資料番号:
R0040A
ISSN:
0368-1025
CODEN:
IZTEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
旧ソビエト連邦 (SUN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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m探ymm7だが,四探針間の電圧を準無接触による方法で測定した場合の理論式を導き,実験結果を示した。改良した四探針法による測定と従来との方法を比較,検討した;図3参2
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