抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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電子線を用いた新しい加工法として,溶解,溶接,ろう付,さん孔せん孔,合金,蒸発などに電子線がどのような役割をするかを詳しく説勇し,電子腺を工具として用いる場合は多くの特微(出力,熱に影響されない,高速に制御可能,電子装置により制御可能,化学的に純粋な加工)のあることを示している.またこのような加工および電子装置の問題を溶接,さん孔の場合について示しその応用例として溶接における適用と半導体の加工について述べた