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J-GLOBAL ID：201602010856682490   整理番号：70A0006665

せん断モードの酸化亜鉛薄膜超音波変換器の動作

Pertormance of shear mode zinc oxide thin-film ultrasonic transducers.

著者 (1件)： FOSTER N F
資料名： J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)
巻： 40  号： 10  ページ： 4202-4204  発行年： 1969年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化亜鉛膜をアルゴン・/酸素中で斜め入射の三極直流スパッタにより金めっきしたサファイアおよびYAG基板上に析出させた。膜は多結晶で1膜の面内でc軸に配列している。この方位の膜は電界を膜面に垂直に印加するとせん断波を発生するのに適する;写図3参7

シソーラス用語： 音響変換器
準シソーラス用語： ZnO ,  超音波発生

タイトルに関連する用語 (3件)： せん断 ,  酸化亜鉛薄膜 ,  超音波変換器