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J-GLOBAL ID：201602010904075887   整理番号：58A0023775

電子探針微量分析器の分解能

Resolution of Electron Probe Microanalyzers.

著者 (1件)： WITTRY D B
資料名： J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)
巻： 29  号： 11  ページ： 1543 - 1548  発行年： 1958年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： 分解能には探針の大きさ,けい光励起,試料中での電子の透過,拡散などが影響する。電子光学的な改良および電子加速電圧と探針の大きさの適当な選択によって分解能を向上できることを示す

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子 ,  探針 ,  微量分析 ,  分解能