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J-GLOBAL ID:201602011357539896   整理番号:65A0163837

電子ボンプ-新方式の真空ポンプ

A new approach to vacuum generation
著者 (1件):
資料名:
巻: 73  号:ページ: 44-45  発行年: 1965年 
JST資料番号: R0185B  ISSN: 0028-2421  CODEN: NEFTA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 旧ソビエト連邦 (SUN) 
抄録/ポイント:
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従来の回転式ポンプと異なって全然回転部のない油不用のイオンポンプについて記した。構造は中央部に電池の電極に似た陽極,それをはさんで2個のチタニウム製平板電極がありこれらを金属箱に密封した。この箱は排気すべき装置に接続。ポンプ全体は強力な永久磁石の電極間に置く。動作原理は5~10kVの直流高圧を電極間に加えると電極間の電子は陽極に加速される。磁場により電子のパルスはら旋状となり途中ガス分子をイオン化する。正イオンは直接陰極に衝突し捕えられ,ガス分子は排気される。陰極イオンの再放出を防ぐため格子式陰極の外側にコレクタをつけたポンプもある;写2図3
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