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J-GLOBAL ID：201602011462397525   整理番号：71A0243543

電圧スブレッド法による抵抗測定

Voltage mode spreading resistance measurement.

著者 (3件)： CHALFIN M ,  POPONIAK M R ,  TONG A H
資料名： IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)
巻： 13  号： 5  ページ： 1369-1370  発行年： 1970年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体試料に電流を加え.電圧降下を測定し.試料の抵抗値を測定するとき.試料に三個の電極を接触させる。すなわち電流プロープ,電圧プロープ.スプレッドプロープの順序で試料に接触させる。ここで電流プロープより出た電流はスプレッドプロープに流れ込み.途中の電圧プロープには流入しない。回路は電圧プロープとスプレッドプロープの間の寛位差が常に一定になるように電流プローブの出力電流が決定される;写図1

シソーラス用語： 半導体材料
準シソーラス用語： 抵抗測定法 ,  抵抗測定法(半導体試料/電圧スプレッド法) ,  電圧スプレッド法 ,  半導体材料(抵抗測定法/電圧スプレッド法) ,  半導体試料

タイトルに関連する用語 (1件)： 抵抗測定