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J-GLOBAL ID：201602011535631297   整理番号：61A0042614

長さゲージの比較測定用光波干渉式コンパレータ

An interference comparator for comparing length gauges.

著者 (1件)： BURCE C F
資料名： Microtecnic  (Microtecnic)
巻： 14  号： 5  ページ： 214-217  発行年： 1960年 
JST資料番号： D0075A  ISSN： 0026-2854  CODEN： MITCA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： スイス (CHE) 

抄録/ポイント： 比較すべき二つのゲージを,定盤の上に少し離して立て,両者の上にまたがせてオプチカルフラットをのせ,これとさらに上方にセットした反射膜を蒸着したオプチカルフラットとの間の傾きの差によつて光波干渉を起させる形の施策コンパレータの紹介,コリメータから出た光を定盤の下から,両測定ゲージの間を通して上げて,オプチカルフラットに当てる.定盤は水平面内で180°C旋回できる.これで4inと6inのゲージを測つた結果は,直接に干渉計で測ったのと0.01μ程度の違いで,満足できる精度であつた;写1 図8 表1

タイトルに関連する用語 (3件)： ゲージ ,  光波干渉 ,  コンパレータ