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J-GLOBAL ID:201602011930300739   整理番号:65A0013878

マイクロ波放電における高調波の発生

Harmonic gneration in a icrowav dischrg.
著者 (1件):
資料名:
巻:号:ページ: 1534-1540  発行年: 1965年 
JST資料番号: H0052A  ISSN: 0031-9171  CODEN: PFLDAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA) 
抄録/ポイント:
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弱い直流の場がある場合にマイクロ波放電により発生する最初の2つの高調波を計算する。高調波の成因はマイクロ波の場によって電子の衝突度数が変調されるためであるとする。第2高調波は衝突度数がかく乱マイクロ波の周波数より十分低いような圧力の場合に最も強い。第3高調波はこれらの周波数が大体等しい場合に最大となる。これらの結果は他の報告による観測結果とよい一致を示している;図1参12
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