抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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Siの(111)面に厚さ0.1μのSi,N、膜をつけ.それにA1電極を蒸着した接合の電圧容量特性を測定した。動作時間τ,と容量が極大値から極小値へ切り変る電圧v,との関係をしらべた。電流電圧特性も測定した;写図2参9