抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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厚膜抵抗値を歩留りよく実現するためには,プリント工程,ファイヤリング工程をはじめ,材料の特性,工程制御が特に重要である。材料の試験評価が注意深く行なうれていても,厚膜の場合には経験技術によるとこるが大きい。材料の特性づけと工程制御によって,再現性を得るためのステップを検討し,製造歩留を最大にするための厚膜設計技術を述べた。特に材料の選択法,エマルジョン厚,スクリーン張力およびペーストの粘度の制御モニタリング技術を検討し,抵抗率の長さ依存性,層抵抗に対する電極材料の効果および層抵抗の分布を示した;写図3表1参2