抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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(100)面では腐食液のNH,OH:H,0,比が減少するとエッチング孔は〈110>方向に平行な縁をもつ正方形から円に,そして〈100>方向の縁をもつ正方形にまで変化する。(111)面ではエッチング孔は三角形か六角形で,すべて〈110>方向の縁をもつ。NH,OH:H,0,比が大きい場合は,エッチング孔はegatine”配向三角形であるが,その比が減少すると六角形となり,更に減少するピ曜positive”配向三角形となる;写図6表1参6