抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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チオベンゾフエノンの誘導体をベースとした増感剤を使用し.こアロンラィンのエッチができるネガティブフォトレジスト。環妖ポ〓イソプレンのようなエラストマーに5%添加する。 サーマルオキサイド上ニスピンコートし水銀灯で20秒間露光する。ふつ化水素酸でエッチングし.レジストのはく離は熱硫酸で行なう