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文献
J-GLOBAL ID:201602012205800919   整理番号:68A0212179

エピタキシャル工程における誘導加熱技術

Induction heating in the epitaxial process.
著者 (1件):
資料名:
巻: 10  号: 10  ページ: 50-55  発行年: 1967年
JST資料番号: E0226A  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA) 
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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エピタキシャル成長工程技術をのべ,その加熱方法と装置の構造を研究した。エネルギー源として高周波電子管装置を用いた誘導加熱法と電動機-発電機を用いた誘導加熱法とを研究した。まず誘導加熱の原理と構造を解析し,成長層の特性を均一にして収率をあげるために最適左誘導加熱コイルの構造を導いた。エピタキシャル反応装置として垂直形,水平形,パンケーキ形についてその設計法と周波数,嵐力の影響を議論した。さらに電動機-発電機方式の回路と性能を考察した;写図12
タイトルに関連する用語 (2件):
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