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J-GLOBAL ID：201602012238572792   整理番号：72A0026291

モンテカルロ法による後方散乱電子像の分解能の研究

Study on the resolution of the backscattered electron image by the Monte Carlo method.

著者 (3件)： MURATA K ,  MATSUKAWA T ,  SHIMIZU R
資料名： Jpn J Appl Phys  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 10  号： 9  ページ： 1290-1291  発行年： 1971年 
JST資料番号： G0520A  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Wells(ApPl.Phys.Lettersユ五(70)151)によれば.後方散乱電子像は斜方入射電子について検出器の位置を変えると変化し.表面にほほ平行な電子の検出で表面付近の情報を得ることができる。ここではモンテカルロ法で入射電子の軌跡を調べ,Wellsの主張を確めた;写図2参5・

シソーラス用語： モンテカルロ法 ,  分解能
準シソーラス用語： 電子線後方散乱

引用文献 (3件)：

• 2) S. Kimoto and H. Hashimoto: Proc. Symposium on Scanning Electron Microscopy (IITRI, ILLINOIS, 1968) p. 65.
• 3) R. Shimizu and K. Murata: J. appl. Phys. 42 (1971) 387.
• 4) O. C. Wells: Appl. Phys. Letters 16 (1970) 151.

タイトルに関連する用語 (5件)： モンテカルロ法 ,  後方散乱 ,  電子 ,  分解能 ,  研究