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J-GLOBAL ID:201602012239486512   整理番号:61A0163234

質量分析において用いられる収束されたイオンビームの伝達率

Transmission optics of focused ion beams used in mass spectrometry.
著者 (1件):
資料名:
巻: 31  号: 11  ページ: 1229-1233  発行年: 1960年 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA) 
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空間電荷の影響が現われないような微少な正イオン・ビームの断面の電荷密度,および,広がりの角度を走査スリットのついたビーム分析計で測定した。イオン銃のレンズ系は収差をもち,また熱イオンには初速匿分布がある。イオン加速電圧の-1/2乗とビームの発散角およびクロスオーバーでの幅との間には比例関係があることが実測され,加速電圧を無限に大きくした場合に外そうすることによってビーム定数および球面収差を決定した。その場合,平リボン型,V型および多重フィラメントをそれぞれ用いているが,平リボン型,V型フィラメントの場合は多重フィラメントの場合に較べて収差が小さく,ビームの発散角も小さい。しかしイオン化効率は悪い。三つの場合とも,ビームの断面の形はだ円である。場の作用しない空間でのビーム断面における電流密度の,場所による変化を表わす式を導き,それからく形穴を通過したビームの割合を表わす式を互に独立な誤差関数の積の形で導出し伝達方程式として与えている。これは加速電圧と共に大きくなる。以上の結果を利用して,質量スペクトルを求める場合に起こる電圧効果および質量差別効果の程度を求める場合についての議論を行なっている;図5表1参14(四方隆)
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