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J-GLOBAL ID：201602012264427830   整理番号：72A0032620

薄膜用のVickers型超微細硬度試験器

A Vickers type ultra-microhardness tester for thin films.

著者 (2件)： NISHIBORI M ,  KINOSITA K
資料名： Jpn J Appl Phys  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 11  号： 5  ページ： 758  発行年： 1972年 
JST資料番号： G0520A  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 頂角100度,先端半径120nmのダイヤモンドのピラミッド状indenterを用いて,薄膜用超微細硬度試験器を作った。この試験器を用い,LiF結晶薄膜(厚さ255,296,920nm)のへき開面の硬度を測定した;写図2

シソーラス用語： 薄膜
準シソーラス用語： LiF ,  硬度計

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  超微細 ,  硬度試験