抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ふくらませ法を用いて700-5000Aの厚みの多結晶Cu薄膜2構的性質を測定した。破壊強さは膜厚の減少と共に増加し.1000下で最大の増加が起る事がわかった。等価バルク破壊強さ1並1管理Lb/αになる事がわかった。ヤング率は膜厚には無関徐」孕XlO‘Lb/面であった;写図4参18