抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
熱分解黒鉛サスセプタの三つの異なったタイプは熱分解的にデポジットする黒鉛のプロセスの利用で作られる。各々のサスセプタは温度の均一性そしてデポジットしたエピタキシャル層の均一した厚みが得られることである。その構造を説明した;写図1