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J-GLOBAL ID：201602012295603505   整理番号：71A0025422

陰極スパッタにより得られた薄い層の接着

Sur l’adhesion de couches minces obtenues par projection cathodique.

著者 (1件)： Le BLAN L
資料名： Bull Soc Chim Fr  (Bulletin de la Societe Chimique de France)
号： Special  ページ： 3267-3269  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0150A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 予稿  発行国： フランス (FRA)  言語： フランス語 (FR)

抄録/ポイント： 陰極スパッタのいろんな場合にあらわれる粘着性にもとづいた推論から.接着現象の解明を試みた。蒸着により得られた薄い金属一金属層がほとんど粘着性を示めさないのに,陰極スパッタにより得られる金属-金属層が粘着性を示すのは.蒸着原子速度(0.1eV)とスバッタ原子速度(1~10eV)の差に起因する。陰極スパッタの際の“溶融層”の生成,その役割,安定性などを考察。“熔融”のない粘着接触を“Collage(のり付け)”.“溶融”の存在するとき“soudures(溶接)”と名づけた;写図4

シソーラス用語： 金属 ,  接着
準シソーラス用語： 陰極スパック ,  陰極スパック(接着) ,  金属(-金属間接着) ,  金属間 ,  金属間接着 ,  接着(金属間) ,  粘着性 ,  粘着性(金属間)

タイトルに関連する用語 (2件)： 陰極スパッタ ,  層