抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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高感度のダイヤフラムタイプの圧力変換器は極低温で使用するの「一適している。20atmまでの周囲圧力で一200-+200Torrの差王範囲にわたってこの装置は役に立つ。差圧はあらかじめ変形されたダイヤフラムを変位させ,ダイヤフラム上の金の層と固定板と瑚の容量を変化させる。この変換器は10-3T。rrの圧力変化の分解能を持っている;写図7参15