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J-GLOBAL ID：201602012424240384   整理番号：71A0247434

接合深さの非接触測定

Contactless junction depth measurement.

著者 (3件)： DUPNOCK A ,  PISCITELLI D ,  TONG A H
資料名： IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)
巻： 13  号： 7  ページ： 1895  発行年： 1970年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 普通の拡散深さである0.5μから5.5μを深さとする接合の場合には,光学的に測定できることを示している。方法は赤外光をウェーバに入射して2透過率.反射率を測定することにより可能である;写図3

シソーラス用語： 接合 ,  半導体素子

タイトルに関連する用語 (1件)： 非接触測定