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J-GLOBAL ID：201602012576463354   整理番号：71A0030972

無定形固体の一様な薄膜を製作するための急速冷却技術

A rapid quenching technique for the preparation of thin uniform films of amorphous solids.

著者 (2件)： CHEN H S ,  MILLER C E
資料名： Rev Sci Instrum  (Review of Scientific Instruments)
巻： 41  号： 8  ページ： 1237-1238  発行年： 1970年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 互に押し相っている二個のローラの間にヒータにより融解された金属または半導体の合金を落し込み,ローラの回転により薄膜にする技術を開発。この方法により急冷する特長は,一様な膜厚となり解析に好都合,融液から直接薄膜となるので応力が残らない,もろい物質でも可能,連続的に製作できる。急冷速度は105°C/s膜厚は10-100μ。数種の試作例を示した;写図1表1参10

シソーラス用語： 急冷 ,  合金 ,  薄膜 ,  半導体 ,  無定形
準シソーラス用語： 合金(無定形) ,  半導体(合金)

タイトルに関連する用語 (5件)： 無定形 ,  固体 ,  薄膜 ,  製作 ,  急速冷却