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J-GLOBAL ID：201602012578662893   整理番号：72A0011222

トポロジカルな図形を描いたフォトマクスを半導体ウェハーに合せるための光電式顕微鏡

фотоэлектрический микроскоп для совмешення топологических рисунков фотошаблонов и полупроводниковой пластины.

著者 (1件)： ГАВРИЛКИН А А
資料名： Izv Vyssh Uchebn Zaved Pr  (Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenij. Priborostroenie)
巻： 14  号： 3  ページ： 84-88  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0150A  ISSN： 0021-3454  CODEN： IVUBA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 光電的方法による,トポロジカルな図形を描いたフォトマスクと半導体ウェハーとの目合せ方法と,それをもとにした光電式顕微鏡について述べる。目合せは,ウェハー上に円筒形断面をもって刻みこまれた細線みぞにフォトマスク上につけられた鏡面細線を一致させることで行なう。全体の操作を光電的に行なったための光学系の詳細とCRTを用いたディスプレイ方法について詳しく説明する;写図4参3

シソーラス用語： 顕微鏡 ,  集積回路
準シソーラス用語： ホトエッチング ,  製造技術

タイトルに関連する用語 (4件)： 図形 ,  ウェハー ,  光電 ,  顕微鏡