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J-GLOBAL ID：201602012631238314   整理番号：71A0039452

Si中のBとPの異常拡散の転位模型

Дислокационная модель аномальной диффузии бора и фосфора в кремнии,

著者 (1件)： ПАШКОВ В И
資料名： Fiz Tverd Tela  (Fizika Tverdogo Tela)
巻： 13  号： 4  ページ： 1044-1049  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0029B  ISSN： 0367-3294  CODEN： FTVTA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： S仲にBとPを多量にドープした層における不純物の輸送方程式を導くために.転位網による二つの拡散面によってつくられた平面拡散細胞模型をつかった。結果を既存の実験データと比較し満足な一致を得た;写図3参17

シソーラス用語： 拡散
準シソーラス用語： シリコン ,  転位模型

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  異常拡散 ,  転位 ,  模型