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J-GLOBAL ID：201602012733379311   整理番号：73A0005506

原型パターン作成装置(PPG) IV アラインメントおよび性能評価

The primary pattern generator. IV Alignment and performance evaluation.

著者 (2件)： JOHNSON A M ,  ZACHARIAS A
資料名： Bell Syst Tech J  (Bell System Technical Journal)
巻： 49  号： 9  ページ： 2069-2075  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0062A  ISSN： 0005-8580  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PPGの走査用光源に使用されるレーザの取付方法,レンズとミラーの調整方法,光変調器の性能について述べ,次に走査用レンズのアラィンメント法,回転鏡と写真乾板の調整方法,X軸,Y軸方向の走査精度について述べ,全体を組合せた場合の精度の問題を取上げ,送り機構の温度による誤差を最後に述べた;写図1参6

シソーラス用語： アラインメント
準シソーラス用語： パターン作成装置 ,  回転鏡 ,  写真乾板 ,  走査 ,  送り機構

タイトルに関連する用語 (5件)： 原型 ,  作成装置 ,  PPG ,  アラインメント ,  性能評価