抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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プラズマ中にブローブ電極をさし込んで,電子密度,その軸方向の分布,電子温度,電位傾度分布などを測定した,測定は電流密度,HgおよびArの蒸気圧をいろいろに変えて(電流は0~800mA,Arの蒸気圧は0~20mm,Hgの蒸気圧は0.5×10
-3~90×10
-3mm)行なわれた,これらの測定値から,各場合の電子移動度が計算された,電子と気体原子との衝突により気体が局部的に熱せられて,気体の密度の不均一が生じて.それが電子移動度の値に影響することを示した.移勘度の計算は二つの異なる方式で行なわれた