抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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薄膜能動素子および受動素子は,原子炉放射線照射に対して,半導体単結晶を用いた素子に比して2~3桁,安定であることがわかった.特に,絶縁膜上にゲート電極をつけた型のTFTについて放射線損傷の効果を調べた.その結果放射線に対する耐性は,真空管,トンネルダイオード,と同程度であって,通常の単結晶素子よりはかなり良好であった.その原因として考えられる要因としては,伝導は多数キャリヤに支配されること,全体の素子の大きさが極めて薄く小さいこと,および,膜が多結晶になっていることが考えられる;図4表1参10