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J-GLOBAL ID：201602012893914477   整理番号：71A0046072

イオン注入装置

著者 (1件)： 谷田和雄
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 40  号： 4  ページ： 408-414  発行年： 1971年 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： イオン注入
準シソーラス用語： イオンインプランテーション ,  イオン注入装置

引用文献 (6件)：

• 1) 例えば, D. G. Nelson, J. F. Gibbons, and W. S. Johnson: Appl. Phys. Letters, 15 (1969) 246. O. Meter and J. W. Mayer: Jappl. Phys. 41 (1970) 4166. 谷田和雄,大村八通,造田安民:学振132委員会資料 44A-156.
• 2) J. Lindhard, M. Scharff and H. Schiott: Mat.-Fys. Medd. 33, No. 14. J. F. Gibbons: Proc. IEEE, 56 (1968) 295.
• 3) 阿部,大村,小中,金沢,小池: 第2回固体素子コンファレンス (1970-09). (印刷中)
• 4) J. Koch, R. H. V. M. Dawton, M. L. Smith and W. Walcher: Electromagnetic isotope separators and applications of electromagne-tically enriched isotopes. (North-Holland pub., Amsterdam, 1958) p. 275.
• 5) W. K. Dagenhart and T. W. Whitehead: Nucl. Instr. and Meth. 85 (1970) 215. T. Groth: Nucl. Instr. and Meth. 85 (1970) 189.

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