抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MAGFETはエンハンXメントモードMOSFETにチャネル接触をつけて差動ホール電圧を生ずるようにしたもので.オーム性接触を一つつけたものがデュアル.ドレーンMAGFET.三つのものがトリブル・ドレーンMAGFETである。チャネルは20~50Aで非常に薄く磁気感度が大きく,温度係数が小さく,普通のMOSFETと同じ技術で作ることができ,IC化に適した磁界検出素子となる。このMAGFETの磁界感度を解析し,チャネルなどの形状,ホール電極の位置の関数として計算した。磁界感度を高めるための設計法.構造寸法の影響を検討した;写図6参3