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J-GLOBAL ID:201602013015743036 整理番号:65A0013136
薄膜蒸着時における蒸着速度と残留ガスの影響
Influence de la vitesse de formation et des gaz residuels lore du depot de quelques couches minces.
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資料名:
Vermessungstechnik (Vermessungstechnik)
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巻:
19
号:
112
ページ:
227-232
発行年:
1964年
JST資料番号:
E0356A
ISSN:
0042-4102
CODEN:
VERMA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
ドイツ (DEU)
抄録/ポイント:
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薄膜の構造と光学的性質におよぼす蒸着速度と残留ガスの影響を著者の測定例を含めて概説した.光学的性質の研究のためには,薄膜の格子および粒状構造に系統的に注意を払うべきであると結論;図5 参50
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