抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体素子の基板へのはんだreflowによる接合は,信頼性ある,有効なしかも容易に自動化しうる技術であることがわかっている。ハンダreflowの間溶けない銅球は接触接続の主要要素としてしばしば利用された。しかし,複合トランジスタチップのように大きな素子へこの接続法の能力を拡大するためには,機械的なひずみを小さく,素子をreflowの間モジュール板へ良く接触させるため,銅球のかわりに可延性の金属接合パッドを用いる。結果は高い信頼性を示した。工程は経済的に自動化可能;写図8表4参21