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J-GLOBAL ID：201602013034901815   整理番号：70A0249321

半導体自動選別測定装置

著者 (1件)： 大たけ良雄
資料名： 電子科学  (Electronic Science)
巻： 20  号： 6  ページ： 21-26  発行年： 1970年 
JST資料番号： G0074A  ISSN： 0415-410X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子工業において生産工程上の省力化のために必要とされる自動機械のうちのオートマチックウェハプローバとトランジスタオートソータについて述べた。前者は,X-Yテープル部,Zステージ部,ヘッドステージ部,コントロール部,本体架台,顕微鏡部の各ユニットで構成され,後者は,自動供給部,測定部,選別部,コントロール部,テスタ部から構成されており,その各々について説明した;写図6

シソーラス用語： 半導体
準シソーラス用語： 自動選別装置 ,  自動選別装置(半導体) ,  半導体自動選別装置

タイトルに関連する用語 (2件)： 自動選別 ,  測定装置