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J-GLOBAL ID：201602013041210720   整理番号：58A0001009

ガス イオンの衝撃による金属のエッチングの方法(討論付)

A Method for the Etching of Metals by Gas Ion Bombardment.

著者 (2件)： NEWKIRK J B ,  MARTIN W G
資料名： Trans Am Soc Met  (Transactions of the American Society for Metals)
巻： 50  ページ： 572-588  発行年： 1958年 
JST資料番号： E0271A  CODEN： TASEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

分類 (3件)： (MA020107) ,  (MA020406) ,  (MA020509)

タイトルに関連する用語 (3件)： イオン ,  衝撃 ,  エッチング