抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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四探針法による比抵抗の測定は普通は等方性半導体について述べられており.異方性の場合については四点を同一直線上に配列した応用例が述べられているだけであるVan der Pauwの座標変換法を利用して.針間距離に比べて試料の厚さが厚い場合と薄い場合に.異方体の四探針法による比抵抗測定の問題を考えた.探針髪方形配列にする方が直線配列よりもはるかに感度が良いことを示した.また一つの主軸に垂直な面内の測定だけで.比抵抗テンソルの三成分を求められることを示した;図3参7