文献

J-GLOBAL ID：201602013159420568   整理番号：65A0015347

約80猟の基板に蒸着した金属膜の構造と焼なまし挙動IIガラス上の金蒸着膜

Structure and annealing behavior of metal films de posited on substrates Tear K II Gold films on glass.

著者 (2件)： VOOK R W ,  WITT F
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 2  号： 5  ページ： 243-249  発行年： 1965年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTAL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： 1)膜表面に垂直な格子パラメータは,バルクの値より数十%小さい。2)膜はかなりの積層欠陥や双晶をもっている。3)数%の不均一ひずみが存在する。4)微結晶寸法は数百~1000Åであり,双晶欠陥密度の測定法によってかわる。5)膜は(111)方位をもち,薄い膜ほど繊維組織が強い。更に焼なまし効果についてのべる;写2図4表6参18

タイトルに関連する用語 (8件)： 猟 ,  蒸着 ,  金属膜 ,  焼なまし ,  挙動 ,  ガラス ,  金 ,  蒸着膜