抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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トランジスタ用ゲルマニウムまたはシリコンウエハーは±10
-5in.の厚さ精度を必要とする.本稿はこのエレメントの測定分類の自動方式について記したもので,厚さ測定は30gの圧力を有するダイヤモソド触針を用い,規準ゲージと比較測定を行なっており,分類装置は1時間3000個の能力を.もっという;写4