抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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マイクロ波能動部品について述べた。1)GaAsエピタキシァルウェーハデバィス,キァリヤ濃度1×10
15~3×10
17cm
-3エビタキシァルの厚さ0.5~100μm,移動度8000cm
2/V.s2)GUNNダイオード。ダイヤモンドヒートシンクXバンド出力550mW。熱抵抗6°C/W3)ミクサダィオード,10~170GHzで使用するGaAsシヨットキバリアの変換損失,VSWRを図示している。4)拡散型接合パラクタダイオード,接合容量0.1PF以下,周波数逓倍器用,5)広帯域検波ダイオード,40-170GHz;写図6