抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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スリット開L」を有する焦点外れした無収差光学系による結像の性質を部分的に空間的コヒーレンシーを有する光で照明した場合について調べた。相互コヒーレンス関数がsinc分布の場合とガウス分布の場合についてポィントスプレッド関数を計算した。部分的にインコヒーレントな照明を用いた場合.焦点外れの影響を一部分補償することができる;写図2表1参25