抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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路の技法は,当初はSiトランジスタの製造技術から発足したものであるが,Si固体回路の製造に適用されるようになつて,いろいろの点で発展があった.殊に混合型回路,つtり保護被覆したSI素地に薄膜部品を取付けた方式で特にそれがいちじるしい.現在,単結晶固体回路の製造に使用する技法について,その主要攻特徴と問題点の所在を論じた;写2図1