抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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表面における許容エネルギーレベルと直線静電位を考慮して室温におけるMOS構造の反転層におけるキャリヤ分布を解析した。強い反転層の場合にはキャリヤ分布が古典統計を用いた結果とかなり異なってくるが,多くのサプバンドが満たされた場合は弱い反転に対する古典限界に近づく。チャネル中の積分電荷をもとにしてチャネル厚さに対する新しい定義を導入し,他の定義と比較した。実際のデバイスでは30-400Aのチャネル厚さが表面電位に依存してきめられる。チャネル中の積分電荷は古典統計による値からわずかしかずれない