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J-GLOBAL ID:201602013764068930   整理番号:71A0000097

光学的平面度標準の確立

Establishing an optical flatness standard.
著者 (4件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 929-934  発行年: 1971年 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 0003-6935  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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液体鏡を用いない筆者による標記方法を改良拡張した。条件方程式によるランダムおよび系統誤差の決定と補正のための方法を開発。線形誤差を発見して完全に除き,非線形誤差もまた干渉写真法を繰返すことで認めうる。3枚の融解シリカ板の絶対平面からの偏いを7つの直径(角距離2π/14)にそって精度λ/500(平均自乗誤差1で測定した。これは,各々がλ/50の外形面距離(しまからしま)をもつ2組4枚の異なる干渉写真を評価することによって行なった;写図9参18
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