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J-GLOBAL ID:201602013906646988   整理番号:72A0008580

最適化させた反射比の方法による薄膜の光学定数

Optical constants of thin films by an optimized reflection ratio method.
著者 (2件):
資料名:
巻:号:ページ: 1419-1425  発行年: 1971年 
JST資料番号: B0092B  ISSN: 0022-3727  CODEN: JPAPBE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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誘電体基板に支えられた薄い吸収膜の光学定数nとkを決定する新しい方法を考案した。二つの反射係数の比R,/R.を二つの入射角で測定し,膜の厚さdを独立に求める。実験測定の入射の最適角度をLO≦n≦0,25と1.0≦k≦4.0と0.01≦d/λ≦0.25の領域中の多くの光学的膜厚d/λで測定。この方法ではこれらの最適角で用いるとd/λ≧0.05に対してnとkが±0.05の精度で求まる;写図3表3参7
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