抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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この論文では半導体基板に他の伝導形の拡散層を作った抵抗器の抵抗値と厚さの解析表式を行う。この表式は拡散層の実際に起る三っの不純物分布,即ち,erfc関数,Gauss関数.指数関数に対して導びく。また結果の数値計算例を示す;図5参2