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J-GLOBAL ID:201602013936486934   整理番号:64A0185022

固体回路の拡散抵抗器の解析的抵抗値決定

Analityczna wyznaczenie opornosci opornikow dyfuzyjnych w polprzewodnikowych ukladach monolitycznych.
著者 (1件):
資料名:
巻: 13  号:ページ: 281-290  発行年: 1964年 
JST資料番号: B0027A  ISSN: 0004-0746  CODEN: ARELA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ポーランド (POL) 
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この論文では半導体基板に他の伝導形の拡散層を作った抵抗器の抵抗値と厚さの解析表式を行う。この表式は拡散層の実際に起る三っの不純物分布,即ち,erfc関数,Gauss関数.指数関数に対して導びく。また結果の数値計算例を示す;図5参2
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