抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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イオンビーム加工を電子ビーム加工に対比して特徴を調べる。パワー密度とビーム直径との関係より加工範囲を調べる。イオンビームによる穴あけ・みぞ切りの加工機の図を示し,装置の機能を解説し,加工例により穴あけ特性を述べる。イオンポリシングについて石英ガラス,パイレックスなどの光学部品の加工を実験した装置およびビーム電流や加工量について解説する。ガラスのポリシングの加工例を紹介する;写図7表1参24