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J-GLOBAL ID：201602014032455750   整理番号：71A0038619

大容量鉛すずバレルドーム型生産用蒸着装置

High-capacity lead-tin barrel dome production evaporator.

著者 (3件)： KURTZ J A ,  RENDON U ,  TRAIN K A
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 8  号： 1  ページ： 324-327  発行年： 1971年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTAL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1ッブチップIC製造に0.05mm厚の鉛すず半田の蒸着が必要である。ここでは工場生産用に作られた一辺が約90cmの直方形蒸着装置のことが紹介されている。直径5.7cmのシリコン素子を142個5列一度にセットでき,これを5rpmの速さで回転させる。この装置は工場生産用として,経済的にも,使用上もすぐれていると述べている;写図4参3

シソーラス用語： 蒸着装置 ,  真空蒸着
準シソーラス用語： 半田

タイトルに関連する用語 (6件)： 大容量 ,  鉛 ,  すず ,  バレル ,  ドーム型 ,  蒸着装置