抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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通常のアルミナコーティングのピークを改良して高寿命の安定なヒータを研究した。マイクロ波用としてセラミック,金属,セラミック金属用として三つの方法があるが基本的要求として振動などに安全なること,ホワイトノイズの減少,電力変化による温度変化の小なること,熱の一様性,高抵抗性,加熱初期的の断線などがあり被膜化ヒータがこの条件を満足する。ヒータはディスペンサカソードを持ちAl
2O
3中にW-Reヒータがありモリブデン円筒でつつんでありカソード面を1050°Cにするため1500°C位に加熱される。この他数種のカソードを図説した;写2図6