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J-GLOBAL ID：201602014065093691   整理番号：72A0105831

検査機器における空気軸受とレーザ干渉装置の応用

Application of air bearings and laser interferometry to an inspection machine.

著者 (1件)： WOODALL N D
資料名： Pap Am Soc Mech Eng  (Papers. American Society of Mechanical Engineers)
号： 70-WA/Prod-29  ページ： i,1-9  発行年： 1970年 
JST資料番号： A0478B  CODEN： ASMSA   資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空気軸受の検査用機器の構造,レーザ干渉装置の原理,軸受移動用ラムの運動の精度の測定結果,荷重とたわみ量の関係,軸受工作機の精度検査法等の紹介;写図11参5

シソーラス用語： レーザ ,  干渉計 ,  気体軸受 ,  検査装置

タイトルに関連する用語 (4件)： 検査 ,  空気軸受 ,  レーザ干渉 ,  応用